近日，市場監管總局批準建立平麵結構（gòu）納米線寬標（biāo）準物質（[2024]國標物證字第5975號（hào））和立體結構納米線寬標準物質（[2024]國標物證字第5976號），打（dǎ）通極（jí）小納米線寬量值向矽晶格常數溯源的計量途徑，成為我國集成電路晶體管柵極線（xiàn）寬溯源最精準“標尺（chǐ）”，支撐集成電路製（zhì）造向極微觀尺度邁進，提升集成電路芯片集成度和性能先進製造水平，有力（lì）促進我國集成電路產業發展。

納米線寬作為集成電路的關鍵尺寸，指晶體管柵極的最小線寬（柵寬），是描（miáo）述集成電路工藝先進程（chéng）度的一個重（chóng）要指標，其量值的準確性將極大影響電流、電阻等電特性（xìng）參（cān）數等芯（xīn）片器件的性（xìng）能指標。有研究（jiū）表明，當集成電路（lù）線寬節點（diǎn）達（dá）到32nm以（yǐ）下時，線寬量值10%的誤差將（jiāng）導致芯片器件失效。當前集成電路先進的工藝製程節點要求線寬達到原子級準確度，通常采用（yòng）線寬標準物質對（duì）關鍵尺寸（cùn）量測設備進行計量（liàng）溯源，以（yǐ）確保關鍵尺寸設計加工的準（zhǔn）確性。隨著集（jí）成（chéng）電路工藝製程節點（diǎn）的不斷縮小（xiǎo），芯（xīn）片的晶體管密度（dù）增加和性能提升得益於晶體管柵極寬度的不斷減（jiǎn）少。

中國計量科學研究院的納米線寬標準物質研製團隊，以國際計量局規定的國際單位製（zhì）米定義複現方法—矽晶格{220}方向尺（chǐ）寸（0.192nm）為基礎，采（cǎi）用內稟矽晶格原子標尺的線（xiàn）寬標準物質設計方案，實現對線寬標準物質的原子級準確度（<1nm）計量溯源，突（tū）破了現有波長計量基準（zhǔn）（633nm）溯源方式對線寬測（cè）量的5nm不確定度水平（píng）極限，研（yán）製成功了與集成電路關鍵製程節點相對應的7nm、22nm、45nm的線寬標準物質，不確定度水平處在0.32nm～1.3nm，初步（bù）構建了基於矽晶（jīng）格（gé）常數溯源的集成電路高準確度納（nà）米線寬計量溯（sù）源（yuán）體係（xì），為保障（zhàng）集成電路與原子級製造幾（jǐ）何量值的準確性奠定（dìng）了堅實計量基礎。