西安交通大學維納儀器有限責任公司（sī）承擔的（de）“863”MEMS領域重大專項課題??“麵向石化等重（chóng）要行業MEMS壓（yā）力傳感器製造（zào）與（yǔ）實用（yòng）化研究（jiū）”於1月底順利通過國家科技部專家組驗收。 據了解，MEMS即微電子機械係（xì）統，集微型傳感器、微型執行器、信號處理和控製電路、接口電路（lù）、通信係統以及電源於一體（tǐ），是一種典型的多學科交叉的前沿性研究領域。該課題是由西安交（jiāo）通大學維（wéi）納儀器有限責任公司承擔，北京青鳥元芯微（wēi）係統科技有限責任公司和華中科技大（dà）學合作開發的，總投（tóu）入1050萬元。該（gāi）課題針對石油化工、軍工（gōng）領域、能源電力以及汽車等行業對壓力測試的（de）特殊要求，研究（jiū）低中高各量程、工作溫度在-30℃???200℃的MEMS壓力傳感器及其批量製造與實用化技術難題（tí）。該課（kè）題將有利（lì）於我國目前耐高溫壓力傳感器的研（yán）究工作在石油化工、軍工領域、能源（yuán）電力以及汽車等行業盡快實現商品化（huà）和產業化。