近日，中國計量測試學會收到中（zhōng）國科協的感謝信，信中對學會在2020年重大科學技術問題和（hé）工（gōng）程技（jì）術難題遴選推薦工作中，積極有效組織計量測試相關專家撰寫重大問題的政策建議表示衷心感謝（xiè）！

2020年8月15日，中國科協在第二（èr）十二屆中國科協年會上，對外發布了20項2020年（nián）前沿重大科學問題和工（gōng）程技術難（nán）題，其中，中國計量測試（shì）學會推薦的“如何解決集成電（diàn）路製造（zào）工藝中缺（quē）陷在線檢測難題”位列其中。

作為中國科協所屬學會，今後，中國計量測（cè）試學（xué）會將一如既往與中國科協一道，深入貫（guàn）徹習近平總書記關於科技創新的係列指示精神，發揮學會的資源優勢（shì）、平台優勢和技術優勢，提升學術引領能力，為推動社會可持續發展、建設世界科技強國做出積極的貢獻。

“如何解決集成電路製造工藝中缺陷在線檢測難題”介紹

在上一代國家集成電路製造02專項中，缺陷在線檢測（cè）設備的研發投入相對（duì）較少（shǎo），我國在該（gāi）領域存在明顯短板，設（shè）備（bèi）水平遠落後於發達國家，因此，缺陷檢測設備是我國半導體產業鏈中最薄弱的環（huán）節（jiē）之一，研發集成（chéng）電路（lù）高靈（líng）敏度（dù）缺（quē）陷在線檢測技（jì）術與裝（zhuāng）備迫在眉睫。

集成電路領域目前是國際科技競爭的（de）主（zhǔ）戰場和大國博弈焦點。對（duì）於集成（chéng）電路缺陷（xiàn）檢測技術及設備，一方麵現有最先進技術設備被少數幾個發達國家壟斷，對我國技術封（fēng）鎖（suǒ）；另一方（fāng）麵，世界範圍內7納米及以下節點的缺陷在線檢測技術仍未成熟，設備缺口仍然巨大（dà），誰率先掌握了相（xiàng）應關鍵技術（shù），誰就掌握了未來主導權，這對我國來說既是機遇又是挑戰。因此，突破（pò）下一（yī）代節點集成電路（lù）製造缺陷在線檢測（cè）技術，不但可以打（dǎ）破以美國為首的技術封鎖，解決“卡脖子”問題，還將提升我國製（zhì）造業整體水平（píng），為交叉領域科（kē）技發展產（chǎn）生重大影（yǐng）響力和引領推動作用，同時帶來巨大經濟效應和國際影響力，占領國際競爭至高點。