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江蘇(sū)省牽頭開發的兩項重大(dà)科學(xué)儀器通過國家驗收

發布時間:2019-06-18 作者(zhě): 來源: 瀏覽:2208

近日,由江蘇(sū)省牽頭開發的“納米圖形化直寫(xiě)與成像檢測儀器的(de)研發與應用”和“新型高分辨雜化質譜儀器(qì)的研製與應用開發”兩項國家重大科學儀器設備順利通過科技部(bù)組織的綜合驗收。其中,昆山(shān)禾信承(chéng)擔的“新型高分辨雜化質譜儀器的研製與應用開發”項目獲得(dé)專家的一致好評。


昆山禾信牽頭承擔的“新型高分辨雜(zá)化質譜(pǔ)儀器的研製與應用開發”和蘇大維格牽頭承擔(dān)的“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發與應用”是“十二(èr)五”期間江蘇(sū)省獲批的國(guó)家重大科學儀器設備開發專項。


“新型高分辨雜化質譜儀器的研(yán)製與應用開發”由昆山禾信(xìn)聯合省內外16家單位共同完成,在國內首(shǒu)次實現不同種類質(zhì)量分析器(qì)的聯用,完成了3款國際先進的質譜整機研發及工程化,項目成果在全國超過40家單位(wèi)推廣應用,為南北極科學考察等國(guó)家重大科學研究提供支撐服務,實現了國產高端質譜儀器出口歐(ōu)美發達國家的突破。


“納米圖形(xíng)化直(zhí)寫與成像檢測儀器的研發與應用”項目由(yóu)蘇(sū)大維格聯(lián)合上海理工大學、中國科學院上海光(guāng)學精密機械研究(jiū)所等6家單位(wèi)共同(tóng)完成(chéng)。該項目(mù)解決了微納結構光場的可調控技術、圖形的高速率寫入機製、微納結構與納米精度多軸光機係(xì)統的設計與(yǔ)可靠性等(děng)難題;麵向無掩模光刻,研製了紫外(wài)激光直寫光刻的關鍵技術、軟件和裝備;實現了從(cóng)納米光子晶體結構到微米級任意結構的高效(xiào)率光刻,與目前其他激光直寫技術相比,速度(dù)更快、效率更高(gāo)。

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