3月24日，由中國計量科學研究院（以下簡稱“中國計量（liàng）院”）牽頭承擔的國家重（chóng）點研發計劃“國家質量（liàng）基礎設施體係”重（chóng）點專項（以下簡稱“NQI專項”）“片上納米幾何量與電學量計（jì）量技術研究及（jí）應用”實施方案論證（zhèng）會（huì）在中國計量院和平（píng）裏院區召開。

中國21世紀議程管理中心、市場監管總局科財司相關領（lǐng）導，中（zhōng）國計量院副院（yuàn）長戴新（xīn）華及相關部門負責人，項（xiàng）目和課題負責人、各（gè）承擔（dān）單位（wèi）代表共40餘人參會。哈爾濱工業（yè）大學儀器科學與工（gōng）程（chéng）學院院長（zhǎng）劉儉、中國科學院微電（diàn）子研究（jiū）所研究員周維虎、清華大學精密儀器係（xì）教授曾（céng）理江、北京大學（xué）集成電路學院教授張大成等10位項目（mù）谘詢專家參會指導。會議以線上線（xiàn）下（xià）結合的方式進行。

會上，中國（guó）計量院副院長戴新華對（duì）參會的（de）領導和專家表示（shì）歡迎，從（cóng）重視項目的執行、加強項目成果與產業實際需求結合等方（fāng）麵對項目提出要求。中（zhōng）國21世紀議程管理中心和市場監管總（zǒng）局科財司相關領導對項目實施管理提出要求。項目負責人、中國計量院副研究員楊雁匯報了（le）項目的總體情況、技術路線及預期成果等。來自中國計量（liàng）院、同濟大學、中科院微電子（zǐ）所等單位的課題負責人分（fèn）別（bié）介紹了各課題的具體任務及實施方案。

項目谘詢（xún）專家（jiā）組（zǔ）成員從各自專業角度為項目及課題實施提出了谘詢意（yì）見。中國計量院相關部門負責人介紹了項目管理和經費管理的製度辦法。

據項目負責人楊雁介紹，集成電路產業的高質量發展離（lí）不開片上精密測試與計量技術。當前，對片（piàn）上關鍵特征參數的高精度檢測與量值溯源是集成電路工藝（yì）中亟需解決的共性計量問題。該項目以研（yán）製片上納米幾何（hé）量與電學量計量核心（xīn）器件（jiàn）及（jí）相關計量裝（zhuāng）置為目標（biāo），擬建立（lì）麵向集成電路片上（shàng）膜厚、高密度光柵及（jí）位移傳感、電容和功率參數的計量校準（zhǔn）能力，並開展相應成果的應用示範。

項目將突破片上膜厚（hòu）、高密度光柵、電容和微波功率標準器件的製備和計量（liàng）技術瓶頸，實現片上膜厚和高密度光柵（shān）及（jí）位移傳感的高（gāo）精度溯源，解決片（piàn）上微小（xiǎo）電（diàn）容與微波功率參數定標溯源技術不足與標準芯片（piàn）缺失的難題。該項目的完成，將有助於提高集成電路產業鏈經濟質量效益和核心（xīn）競爭力，助力我國半導體集成電路產業的高（gāo）質量發（fā）展。（文：張欣、石亞楠  圖：石亞楠）