Oki公司近日推出全球最薄超小型三軸加速（sù）計模塊ML8950，集成傳感器（qì）芯片和控製IC，具（jù）有（yǒu）全球最（zuì）薄封裝形式。除具有檢測三軸（X，Y和Z）加速（sù）度（±3g）功能外，三軸加速計模（mó）塊不僅可以檢測出傾斜和衝擊震蕩，還可測量出傾（qīng）斜度和（hé）振（zhèn）動度。適用於移動電話、移動設備、HDD和娛樂設備等應用。Oki公（gōng）司將於2004年10月在日本和北美推出ML8950樣品，於2005年4月投入大批量生產。三軸加速計模塊ML8950可檢（jiǎn）測（cè）出（chū）三（sān）軸加速度、傾斜和振動，並以數字格式輸出信號。采用微型電機（micromachined）技術和絕緣體上外延矽（SOI）晶片，Oki公司成（chéng）功開發出結合高震蕩殘存（cún）性、1.4mm薄膜和（hé）小規格傳感器芯片的模塊，可滿足裝配於移動設備（bèi）的所有要求。 控製IC芯片裝配在信號放大（dà）電路、控製電路、模數轉換（huàn）器和溫度補償電路上。此外，它還是首例具有數字（zì）接口的三軸加（jiā）速計模（mó）塊（kuài）。由（yóu）於它可直接連接（jiē）到CPU，所以無需使用設備上（shàng）的模數信號轉換器，便可內嵌於數字設備中。 ML8950是Oki公司向MEMS市場（chǎng）推出的（de）首例產品，計劃到2007年3月財（cái）政年度為止其銷售目標達（dá）到100億日元。