傳感器(qì)和儀表元器件是儀器儀表與自動化係統最基礎元器件之一。傳感器(qì)和儀表元器件具(jù)有服務麵廣、品種繁多、需求量大等(děng)特點,其技術水平和(hé)產品質量的提(tí)高(gāo),將為我國製造業信息化奠定基礎。
現狀(zhuàng)與問題
我國傳感器和儀器儀表的技(jì)術(shù)和(hé)產品,經過發展,有了較大的(de)提高。全國已經有1600多家企事業單位從事傳感器和儀表元器件的研製、開發、生產。但與國外相比,我國傳感器和(hé)儀表元器件的產品品種和質量水平,尚不能滿足國內市場的需求,總體水平還處於國外上(shàng)世紀90年代初期的水平。存在的主要問題有:
(1)科(kē)技(jì)創新差,核(hé)心製造技術嚴重滯後於國外,擁(yōng)有自主(zhǔ)知識產權的產品少,品種(zhǒng)不全,產品技術水平與(yǔ)國外相差15年左右(yòu)。
(2)投資強度偏低,科研設備和生產(chǎn)工藝裝備落後,成果水平(píng)低,產品質量差。
(3)科技與(yǔ)生(shēng)產脫節,影響科研成果的轉化,綜合實力較(jiào)低,產業發展後勁不足。
戰略目標
到(dào)2020年,傳感器(qì)及儀表元件領域應爭取實(shí)現三大戰(zhàn)略目標:
??以(yǐ)工業控製、汽車、通訊、環保為(wéi)重點服務領域,以傳感器、彈性元件、光(guāng)學元件、專用電路為重點對象,發展具有(yǒu)自主知識(shí)產權的(de)原(yuán)創性技術和產品;
??以MEMS工藝為基(jī)礎,以集成化、智能(néng)化(huà)和網絡化技術為依托(tuō),加強製造工(gōng)藝和新型傳感器和儀表元器件的開發,使主導產品達到和接近國外同類產品的(de)先進水平;
??以增加品種、提高質量和經濟效益為(wéi)主(zhǔ)要目標,加速產業化,使國產傳感器(qì)和儀表元器件(jiàn)的品種占有率達到70%~80%,高檔產品達60%以上(shàng)。
發(fā)展(zhǎn)重點
傳感器技術
(1)MEMS工藝和新一代固態傳感器微結構製造工藝:深反(fǎn)應離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝;封裝工藝:如常溫鍵合倒裝(zhuāng)焊接、無應力微(wēi)薄結構封裝、多芯片組裝工藝;新型傳感(gǎn)器:如用微矽電容傳感器(qì)、微矽質量流量(liàng)傳感器、航空航天用動態(tài)傳感器、微傳感器,汽車專用壓力、加速度傳感器,環保用微(wēi)化學(xué)傳感器等。
(2)集(jí)成工藝和多變量複合傳感器微結(jié)構集成(chéng)製(zhì)造工藝;工(gōng)業控製用(yòng)多變量複合傳感器,如(rú):壓力、靜壓、溫(wēn)度三(sān)變量傳感器,氣壓、風力、溫度、濕(shī)度四變量傳感器,微矽複合應變壓(yā)力傳感器,陳列傳感器。
(3)智能化技(jì)術與智能傳感器信號有線或無線探測、變(biàn)換處(chù)理、邏輯判(pàn)斷、功(gōng)能計算、雙向通訊、自診(zhěn)斷等智能化(huà)技術;智能多(duō)變量傳感器,智能電量傳(chuán)感器和各種智能傳感器、變送器。
(4)網絡化技術和網絡化傳(chuán)感器傳(chuán)感器網絡(luò)化技術;網絡化傳感器,使傳感器具有工業化標準(zhǔn)接口和協議功能。
儀表元器件
(1)彈性元件開發和完善新型成型工藝:電沉積成型工藝,焊接成型工藝;重點開發航空、航天用的(de)低剛度、大位移(yí)、長壽命的微小型精密波紋管,高溫高壓(yā)閥用波紋管;研製波紋(wén)管高效成型工藝設備和性能檢測儀器(qì)。
(2)光學元件開發先進工藝:非球麵光學元件設計、製造技術、光學多層(céng)測射鍍膜技術和新型離子輔助鍍膜技術。
開發光纖通訊和數字成像用新型光學(xué)元件,如:微型變密度濾光片、超窄帶濾光片,微透鏡陣列(liè)、大麵積偏振(zhèn)元件、非球麵玻-塑混合透鏡。
(3)專用電(diàn)路提(tí)高專用電路集成度和個性化服務的設計技術和製造工藝;
應用軟件固化技術,開發適合智(zhì)能(néng)化(huà)、網絡化傳感器和儀表的信號變換、補償(cháng)、線性化、通訊、網絡接口等專用電路。
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