傳感器和儀表（biǎo）元器件是儀器儀表與自動化係統最基礎元器件之一。傳感器和儀表元器件具有（yǒu）服（fú）務麵廣（guǎng）、品種繁多、需求量大等特點，其（qí）技術水平和產品質量的提高，將為我（wǒ）國製造業信息化奠定基礎。

    現狀與問題

    我國傳感器和儀器儀表的技術和產品，經過發展，有了較（jiào）大的提高。全國已經有1600多家企事業（yè）單位從事傳感器和儀表元器件的研製、開發、生產。但與國外相比，我國傳感器和儀（yí）表（biǎo）元器（qì）件的產品品種和質量水平，尚不能滿足國內市場的需求，總（zǒng）體（tǐ）水平還處於國外上世紀90年代初期的水平。存在的主要問（wèn）題有（yǒu）：

    (1)科技創新差，核心製造技術嚴重滯後於國外（wài），擁有（yǒu）自主（zhǔ）知識產（chǎn）權的產品（pǐn）少，品種不全，產品技術水（shuǐ）平與國外相差15年左右。

    (2)投資強度偏低，科研設備和生產（chǎn）工藝裝備落後，成果水平低（dī），產品質（zhì）量差。

    (3)科技與生產脫節，影響科研成果的轉化，綜合（hé）實（shí）力較低，產（chǎn）業發（fā）展後勁（jìn）不足（zú）。

    戰略目標

    到2020年，傳感器（qì）及儀表元件領域應爭取實現三大（dà）戰略目（mù）標：

    以工業控製（zhì）、汽車、通訊、環保為重點服務領域，以（yǐ）傳感器、彈（dàn）性元件、光學元件、專用電路為重點對象，發展具有自主知識（shí）產權的原創性技術和產品；

    以MEMS工藝為基礎，以集成化（huà）、智能化和網絡化技術為依托，加強製造工藝和新型傳感器和儀表元器件的開發，使主導產品達到和接近國（guó）外同類產品的先進水平；

    以增加品種、提高質量和經（jīng）濟效益為主要目標，加速產業化，使國產傳感器和儀表元器件的品種占有率達到70%~80%，高檔產（chǎn）品達60%以上。

    發（fā）展重點

    傳感器技術

    (1)MEMS工藝和新一（yī）代固態傳（chuán）感器微（wēi）結構（gòu）製造工藝：深反應離子（zǐ）刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝；封裝工藝：如常（cháng）溫（wēn）鍵合倒裝焊接（jiē）、無應力微（wēi）薄結構封裝（zhuāng）、多芯片組裝工藝；新型傳感器：如用微矽電容傳感器、微矽質量流量傳（chuán）感器、航（háng）空航（háng）天用動態傳（chuán）感器、微傳（chuán）感器，汽車專用壓（yā）力、加速度傳感器，環保用微化學傳感器等。

    (2)集成工藝和多變量複合傳感器微結構（gòu）集成製造（zào）工藝；工業控製用多變量複合傳感器，如：壓力、靜壓、溫度三變量傳感器、氣壓、風（fēng）力、溫度、濕（shī）度四變量傳感器，微矽複合應（yīng）變壓（yā）力傳感器，陳列傳感器。

    (3)智能化技術與智（zhì）能傳（chuán）感器信號有線或無線探（tàn）測、變換處理（lǐ）、邏輯判斷、功能（néng）計（jì）算、雙向通訊、自診斷等智能化技術（shù）；智能多變量傳感器，智能電（diàn）量傳感（gǎn）器和（hé）各（gè）種智能（néng）傳感器、變送器（qì）。

    (4)網絡化技（jì）術和網絡化傳感器，使傳感器具有工業化標（biāo）準接（jiē）口和協議功能。

    儀（yí）表元器件

    (1)彈性元件開發和完善新型成型工藝：電沉（chén）積成型工藝，焊接成型工藝；重點（diǎn）開（kāi）發航空、航（háng）天用的低剛度（dù）、大位移、長壽命的微小型精密波紋管，高溫高壓閥用波紋（wén）管；研製波紋（wén）管高效（xiào）成型工（gōng）藝設備和性能檢測儀器。
 (2)光學元件開發先進（jìn）工藝：非（fēi）球麵光學（xué）元件（jiàn）設計（jì）、製造技術、光學多層測射鍍（dù）膜技術和新型離子輔（fǔ）助鍍膜技術。

    開發光纖通（tōng）訊和數字成（chéng）像用新型光學（xué）元件。如：微型變密度濾光片、超（chāo）窄帶濾光片，微透（tòu）鏡陣列、大麵積（jī）偏振元件、非球麵玻-塑混合透鏡（jìng）。

    (3)專（zhuān）用電（diàn）路提高專（zhuān）用電路集成度和個性化服務的設計技術和製造工藝；

    應用軟件固化（huà）技術，開發適合智能化、網絡化傳感器和儀表的信號變（biàn）換、補償（cháng）、線性化、通訊、網絡接口等專（zhuān）用電路。