由浙江大學承擔的“基於MEMS技術的天然氣流量計（jì）實用化研（yán）究（jiū）”課題日（rì）前通（tōng）過了由863計劃先進製（zhì）造與自動化領域MEMS專項組織的專家驗收。 該課題成功研製了精度高（gāo）、流阻小、量程寬的TMF熱式流量計係（xì）列產品，產（chǎn）品應用前景廣闊。在課（kè）題實施過（guò）程中，重點研究解（jiě）決了矽膜與基體材料之間的高效絕熱薄膜層材料和（hé）加工工藝，以及傳感器（qì）表麵抗腐蝕（shí）、耐磨損、低粘附性封（fēng）裝材料（liào）及封裝工藝；適用於天然氣計量的熱式流量計供電模式、靜壓誤差補償、溫度漂移、表麵粘滯效（xiào）應等（děng）關鍵技術及工藝問題；研製出熱慣性低、頻響高的芯片級傳（chuán）感器和高（gāo）精度、大量程、低功耗的熱式流量計（jì）產品。該係列產品已實現小（xiǎo）批量生產與（yǔ）試（shì）用，新增產值636萬元。