在國家科技部“863”項（xiàng）目“微機（jī）電（diàn）係統”重（chóng）大專項的支持下，中國科學院微係統所與南京石油物探研究所緊密合作，經過將近兩年的努（nǔ）力，克服重重困難，研製成功以國產MEMS加速度計為核心的石油勘探地震檢波器。 試驗人員把試製的MEMS檢波器在東北敦化山區作了野外試驗，試驗與實際生產同步，生產（chǎn）用（yòng）的檢波器采用12隻常規檢波器串聯提高信噪比，MEMS檢波器為單點（diǎn）接收。這次試驗數據經過簡單（dān）帶通濾波處理表明，MEMS檢（jiǎn）波器接（jiē）收的單（dān）炮記錄接近於傳統檢波器串接收的記錄，並且MEMS檢波器接收記錄的同相軸分辨率比傳統檢波器串要高，同時這次試驗是在實際（jì）生產的條件下完成的，在較（jiào）差的環境中取得了較好（hǎo）的試驗結果。 目前，微係統所試製的（de）MEMS檢波器（qì）在前幾次試驗的基礎上，改善了加速度計的檢測電路，克服了加速度（dù）計自身幹（gàn）擾信號，改進了封裝工藝（yì），從而在性能上有了較（jiào）大改善，在實（shí）用化方麵取得了（le）重要（yào）進展。基於MEMS加速度計的地震檢波器在頻帶、動態範圍和軸向抗幹擾性等性能指標（biāo）上優於（yú）傳統（tǒng）檢波器，經過（guò）進（jìn）一步性能改進和提高後，完全有能力應用於石（shí）油勘探行業並逐步替代傳統檢波器，這對於提高微係統加工和封裝平台的產業（yè）化能力、降低石油勘探成本和風險、提升石油勘（kān）探行業的（de）技術水平具有（yǒu）重要的社會（huì）效益和經濟效益。