西安交大研製出國內首創(chuàng)耐高溫壓力傳感器 (2004-07-16)
發布時間:2007-12-04
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由西安交通大學研製的一種矽隔離耐(nài)高溫微型壓(yā)力傳感器,能在-30℃~250℃環境下進行壓力測量,並能承受2000℃瞬(shùn)時高溫(wēn)衝擊,從而(ér)有效解決了我國航空航天、石油化工、汽車工業等領域高溫(wēn)環境下壓力測量(liàng)的技術難題。
常規(guī)的矽壓力傳感器隻能在120℃以下進(jìn)行壓力測量,超過120℃時,傳感器的性能會嚴重惡化以(yǐ)至失效,當傳感器遇到被測流體大於1000℃瞬時高溫衝擊時,敏感元件(jiàn)就會被燒壞,導致信號處理係統和電路的極度失調。
西安交(jiāo)大精密工程研究(jiū)所教授(shòu)蔣莊(zhuāng)德率領課題組經(jīng)過4年的研究,研製成功(gōng)的矽隔離耐高溫微型壓力傳感器(qì),解決了瞬時高溫(wēn)衝擊下傳(chuán)感器失效的難題。這個產品已在有關單位投入試用,業界人(rén)士認為,該產品成本低、性能穩定可靠、工藝兼(jiān)容性好、體積小、靈敏度高,不僅在靜態精度、耐高溫工作能力及動態(tài)響應能力(lì)等技術指標上可與國外同類先進產品(pǐn)媲美,而且在耐瞬時高溫衝擊、工作量程等性能指標上有獨到(dào)之(zhī)處,有效解(jiě)決了長期(qī)困擾企業的高溫(wēn)下進行壓力測量的難(nán)題(tí)。
在教育部日前組織的科技成果鑒定(dìng)中,專家認為這項科技成果(guǒ)屬(shǔ)國內首創,打破了國外同類產品對我國傳感器市場(chǎng)的壟斷,提升了我國(guó)這一行業的整體水平和國際競爭力(lì),具(jù)有很高的推廣和使用價值。