列入國（guó）家高技術研究發展（zhǎn）計（jì）劃（863計劃）的“耐高溫壓力傳感器”經過四年艱苦攻關，最近在西安交大研製成功。我（wǒ）國高溫壓力（lì）傳感器產品長期（qī）依（yī）賴進口的局麵從（cóng）此將（jiāng）徹底改變。 　　耐高溫壓（yā）力傳感器廣泛應用於航空航天、石油化工、汽車等領域高溫環境下的壓力測量。如測量航空航天發動機燃燒室在（zài）啟動、停（tíng）車、不穩定燃燒期間的各種瞬變壓強，從而掌握燃燒室壓強變化規律，為設計和評價發動機提供依據；測量石油化工領域各種（zhǒng）反應釜、冶煉塔、采（cǎi）油井（jǐng）下的壓力，為安全生產、提高石（shí）油產量（liàng）提供判據（jù）；測量能（néng）源動力、軍（jun1）用火工品、汽車工業等在特種環境下的壓力等。這（zhè）些領域對耐高溫壓力傳感器的年需求總量約為4萬隻，隨（suí）著國 民經（jīng）濟和國防現代化的（de）發（fā）展，高溫壓力傳感（gǎn）器（qì）的市場需求將以每年10%～32%的速率遞增。而常規的矽壓力傳感器隻能（néng）在120℃以下進行壓力測量，超過120℃時，傳感器的性能會嚴重惡化以至失（shī）效，當傳感器遇到被測流體大於（yú）1000℃瞬（shùn）時高溫衝擊（jī）時，敏感元件就會被燒壞，導（dǎo）致信號處理係（xì）統和電路（lù）失調。長期以來，美國、瑞士、英國等國外公司的耐高溫壓力傳感器產品壟斷了國際市場，我國高溫壓力傳感器產品（pǐn）主要依賴進口， 一直受製（zhì）於人。 　　研製我國有（yǒu）知識產權的耐（nài）高溫壓力傳感器（qì）列入國家高技術研究發展（zhǎn）計（jì）劃後，西安交大蔣莊（zhuāng）德教授率領課題組（zǔ）曆時4年努力，終（zhōng）於完成了這一高科技攻關項目（mù）。教育部日前組織（zhī）專家對這一項（xiàng）目進（jìn）行科技成果鑒（jiàn）定後認為，西安交大精密工程研究所利用MEMS(微型機械電子係統)技術，研製出（chū）的矽隔離（lí）耐高溫微型壓力傳感器，能在-30℃～250℃環境下進行壓力測量，可完成1000MPa以下任意（yì）量程範（fàn）圍的壓力測量， 能承受2000℃瞬（shùn）時高溫衝擊。該（gāi）項目屬國內首創，有效解決了（le）我國航空航天、石油化工、汽車工業等領域高溫環境下壓（yā）力測量的技（jì）術難題，解決了瞬時高溫衝擊下傳感器失（shī）效的難題，打（dǎ）破了國（guó）外同類（lèi）產品對我國傳感（gǎn）器市場的壟斷，提升了我國這一行（háng）業的整體水平（píng）和國際競（jìng）爭能力，具（jù）有很高的（de）推廣和使用價值（zhí）。 　　在該項（xiàng）目科技成果鑒（jiàn）定會上，以邱（qiū）愛慈院士為主任的鑒定委員會認真（zhēn）聽取了課（kè）題組的技術研究報告（gào）、審查了（le）查新報告、測試報告和用戶使用報告等相關材料，現場考察了耐（nài）高溫壓力傳（chuán）感器產品（pǐn）和（hé）生產現場，通過討論和質疑，專家認為該產品采用高能氧離子注入技術製作二氧化矽隔離層，將檢測電路與基底隔（gé）離開（kāi），避免（miǎn）高溫下檢測（cè）電路與基底之間的漏電流問題，解決了常規矽壓力傳感器120℃產生失效的技術難題；該產品將被測高（gāo）溫流體與矽敏感元件相隔離， 避免了被測流（liú）體的瞬時高溫衝擊（jī），解決了2000℃瞬（shùn）時高溫衝擊的難題；采用鈦-鉑-金耐高（gāo）溫布線係統，解決了高溫等惡劣環境下傳感器引（yǐn）線的技術難題。專家認為，該項目性能指標和總體（tǐ）水平達到國際先進水平，在敏感元件集成設計和（hé）傳感器結（jié）構設計等方麵（miàn）達到國際領先水平。 　　據業界人士介紹，西（xī）安交大（dà）研製的耐高溫壓力傳感器可滿足（zú）高溫、高壓、高頻響及 瞬時高溫衝（chōng）擊等惡（è）劣（liè）環境下的壓力測量，具有（yǒu）自主知識產權，填補（bǔ）了（le）國內在此（cǐ）領域（yù）的多項空（kōng）白 ，促進（jìn）了我（wǒ）國航空航天、石油化工，汽車工業等（děng）領域的工業自動化進（jìn）程；進一步的後續開發， 還可生產變送器和與之（zhī）配套的（de）二次儀表產品，對於推動我國儀器儀表工業的發展，培（péi）養新的（de）經 濟（jì）增長點具有重要意義。 　　西安交大研製的耐高（gāo）溫壓力傳感器經在在航空618研究所、航天210所及西（xī）安宏邦石油儀器有限責任公（gōng）司等單位投入試用表明，該產品成本低、性能穩定可靠、工藝兼容性好、體積小、靈敏度高（gāo），不僅在靜態精度、耐高溫工作能力及動態響應（yīng）能力等技術指標上可與國外同類先進產品媲美，而且在耐瞬時高（gāo）溫衝擊、工作量程等性能指標上有獨到之處，有（yǒu）效解決了長期困擾企業的高溫下進行壓力（lì）測量的難題。