由我局組織（zhī）推薦申報，上海計量科學研（yán）究院牽頭承擔的國家重大科學儀器設備開發（fā）專項“跨尺（chǐ）度微納米（mǐ）測量儀的開發和應用”獲得中央財政專項經費支持。該項（xiàng）目將通過攻克微聯動多軸驅（qū）動和多測（cè）頭集成、基於（yú）原子沉積光柵納米量值溯源、雙角度傾（qīng）斜式場掃描等關鍵技術，研製出具有自主知識產權、功能（néng）健全、質量穩（wěn）定可靠的跨尺度微納米測量儀，並達到形成年產50台生產能力，累計銷售收入5000萬元的（de）目標，為我國微納米製造檢測行（háng）業發（fā）展提（tí）供技術支撐。

      該項目總經（jīng）費7681萬元，其中中央財政專項經費投入3731萬元，項目截止日期為2018年10月。