深紫外全固（gù）態激光源指輸出波長在200納米以下（xià）的固體激光器，與同步輻射（shè）和氣體放電光源等現有光源（yuán）相比具有高的光子流（liú）通量/密度、好的方向性和相幹性。

　　中科院自（zì）上世紀90年（nián）代初開始研究深紫外非線性光學晶體和激光技術，經過20多年努力，在國際上首次生長出可（kě）直接倍頻產生深紫外激光非線性光學晶體，並發明（míng）棱鏡耦合技術，率先發展出實用化的深紫外固態激光源，使（shǐ）中國成為當今世界上唯一掌握深紫外全固態激光技術的國家。

　　中國科學（xué）家利用獨創、獨有的深紫外技術和深紫外激光非線性光學晶體，已成（chéng）功研製出深紫外激光拉曼（màn）光譜儀、深紫外激光發射電子（zǐ）顯微鏡等8台深紫（zǐ）外固態激光源（yuán）前（qián）沿裝備，均為當今世界所獨有的科研利器，居深紫外領域國際領先地位。

　　總投資1.8億元人民幣的深紫外固（gù）態激光源前沿裝備研製項目，2008年啟動（dòng）實施以來進展順（shùn）利（lì），現（xiàn）已研製成功的8台前沿裝備還包括深紫外激光（guāng）光化學反應儀、深（shēn）紫外激光（guāng）光致發光光譜儀、深紫外激光自旋分辨角分辨光電子能譜儀、深紫外激光原位時空分辨隧道電子譜儀、基於飛行時間能量分（fèn）析器的深紫外激光角分辨光電子能譜儀等國際領先水平的儀器設備（bèi），另外1台光子能量可調深（shēn）紫外激光光電子能譜儀研製工作也已基本完成，正在調試之中，多台儀器設備已初（chū）步用於前沿科（kē）學（xué）研究（jiū），並表現出優異的性能。

　　中（zhōng）科院整合麾下理化技術研究所、物理研究所、大連（lián）化學物理（lǐ）研究所、半導體研（yán）究所（suǒ）科研（yán）資源，在財政部專項（xiàng）資金（jīn）支持下，設立深紫外固態激光源前沿裝備研製（zhì）項目，設計出（chū）從“材料（liào）-器件-裝（zhuāng）備（bèi）-科學研究”完整研發體係。在（zài）成功（gōng）研製8台重大儀器設備的同時，還搭建有深紫外非線性晶體和器件研（yán）製平台、深紫外固態激光器研發平台和深紫外應用儀器開發平台，核心器件深（shēn）紫外晶體（tǐ）及器件已（yǐ）實現（xiàn）小批量生產，為儀器設備後續（xù）發展尤其是產業化工作奠定了基礎。

　　深紫外固態激光技術突破是中國新型科學儀器研發的難得機遇。中科（kē）院在前期工作基礎上，正組織專家進（jìn）一步調研，一方麵（miàn），將研（yán）製成功（gōng）的8台儀器設備中技術成熟、具有市（shì）場潛力的發展為商品化儀器設備，推動中國（guó）高（gāo）端科學儀器產業化;另（lìng）一方麵，進一步整（zhěng）合人才、技術力量，繼續研發新型（xíng）深紫外科（kē）學儀器和設備。