近日，重慶川儀自動化股份有限公司承擔的國家“863”計劃課題“過（guò）程控製矽壓力傳感器及係統（tǒng）”順利通過（guò）科（kē）技（jì）部驗收（shōu），取得係列重大成果（guǒ）：一是攻克過程控製矽壓力傳感器及係統（tǒng）的技術設計、關鍵部件開發、製造工藝、裝備等關鍵技（jì）術問題，實現了覆蓋全量程範圍的過程控（kòng）製矽壓力傳感器（qì）芯片的設計、模型建立和芯片流片（piàn）的製造（zào）；二是（shì）提出以消壓力環狀結構和多層粘合結構為核心（xīn）的（de）無應力封裝結構，解決了傳感器組件的（de）應力問題；三（sān）是開發出適配軟件（jiàn），建立壓力、溫度等參數的（de）補償（cháng）模型和補償參數自動（dòng）修正方（fāng）法（fǎ），成功研製出測試精度達0.075%級的高精度傳感器係統，建成年產50000台以（yǐ）上的傳感（gǎn）器係統生產流水線1條，實現銷（xiāo）售額達1億元以上。