隨著納米科學和納米技術（shù）的進步，人們已經不滿足於掃描物體表麵，而（ér）是把目光投向探究生物有機體的內部深（shēn）層結構和物（wù）質的結構，從而得以分析出其組成成分（fèn）?同時，也促進了電子學（xué）、電磁（cí）學、光學和化學等學科的（de）進步。 為了測量形態、構成、磁力、偏（piān）振或化學成分等方麵納（nà）米層次的內部變化，X光顯微鏡不僅可以補充電子顯微鏡的不足（zú），而且具有更多（duō）的優勢。位於美國能源部勞倫斯伯克利國（guó）家實（shí）驗室（shì）高級光源的XM－1型（xíng）X光顯微鏡（jìng），使用明亮的（de）光束一“軟”X光製得的圖像不僅顯示出了結（jié）構，而且可以分析鑒（jiàn）定出它們的化學元素，並同時測量它們的電磁特性和（hé）其他性質。 現在一種新型的在納（nà）米層級上創造光學設備的方法使得伯克利實驗室X光光學（xué）中心（CXRO）的研究人（rén）員（yuán）可以建造和操作XM－1型X光顯微鏡來獲得超高分辨率的圖像，甚至可以超過15納米的精度，同時研究人員在近期之內可以取得更高分辨率（lǜ），伯克利實驗室材料科學小組的晁偉倫（音譯）說，我們的（de）這項（xiàng）新（xīn）技術使得超小三維結構的裝配成（chéng）為可能。我們相信這是通過（guò）電子束平版印刷術實現微（wēi）型裝配技術上一大突破。