安捷倫科技日前宣布推出基於Windows的半導體器件分析儀，把電容對電壓測量(CV)及電流對電壓測量(IV)集成到一台儀（yí）器（qì）中，使半（bàn）導體測試工程師節約（yuē）了時間（jiān），提高了生（shēng）產效率。安捷倫B1500A為參數測試和（hé）分析提供了完整的可單機、可（kě）擴（kuò）展解決方案，能夠處理65納米(nm)及更（gèng）小光刻工藝技術（shù）。模塊化儀器采用10插（chā）槽配（pèi）置，支持安捷倫新推出的EasyEXPERT軟件，提供了一（yī）個（gè）完整的器件（jiàn）檢定方法。 新的EasyEXPERT軟件提供了一個器件應用測試程序庫，用戶可以根據（jù）要求的測量類型進行選擇。在進行幾個（gè）簡單的設置之後，如確認工藝類型，及選（xuǎn）擇適當的器件類（lèi）型，軟件便會選擇相（xiàng）應的設置，進行測量，分析數據，以圖形方式顯示分析（xī）結果。通過使用基於Windows的EasyEXPERT軟件，即使（shǐ）是新手也可以在B1500A開機幾分鍾後進行高效測量。 當檢定同時（shí）要求進行IV和CV測（cè）量時，工程師麵臨著額外（wài）的挑戰。然而大多數儀器隻是為（wéi）一種測量（liàng）設計的，這意味（wèi）著必須（xū）透過兩（liǎng）個接口連接兩種不同的儀器來進（jìn）行測量。必需把電容測量單元(CMU)的連接線正確（què）連接到被測器件(DUT)上，並精確補償電（diàn）纜（lǎn）長度，以（yǐ）保（bǎo）證精確的CV測量結果。此外（wài），CMU采用BNC連接器，而電源測量單元(SMU)采用三軸連（lián）接器。在這些不兼容的（de）連接器（qì）之（zhī）間切換可能會非常困難、麻煩，特別是與芯片探針台上搭配使用時。 安捷倫B1500A提供了高度靈活性，幫助降低測試成本。其10插槽配置支持三種SMU類型：高分辨率SMU (HRSMU)、中等功率SMU (MPSMU)和高功率SMU (HPSMU)。安捷倫還提（tí）供一個多頻率（lǜ）電容測量單元(MFCMU)，B1500A主機內接4.2A接地單元(GNDU)。 除把CV測量集（jí）成（chéng）到（dào）器（qì）件（jiàn）分析儀主機外，MFCMU比類似的外部電容儀表提供更多的測量功能。它可以高達5 MHz的（de）頻率測量電容，提供了正負25V的DC偏置。此外，在同一部儀器中把MFCMU和SMU結合起來，使（shǐ）得這些測量資源能夠（gòu）更加緊密地結合在一起。在（zài）結合使用B1500A SMU CMU合一單（dān）元(SCUU)時，MFCMU和SMU組合支持正負100V的DC偏置的（de）電容測量。 B1500A SCUU為把兩部SMU和MFCMU連接起來、並在這些不同測量資源之間切換（huàn）提供了一種方便智能的方式，而不（bú）需使用單獨的外部開關矩陣儀器。B1500A軟件處理所有IV-CV測量切換、補（bǔ）償和返回路徑狀態。為著手進行精確測（cè）量，用戶隻需選擇IV或（huò）CV算法，然後按（àn）一個鍵即可。 由（yóu）本身具（jù）備的低電流、低電壓和補償電（diàn）容測量功能，安（ān）捷倫B1500A可以用於半導（dǎo）體器件和新興材料的各種（zhǒng）檢定需求，包括采用納米工藝技術的器件。 B1500A的自動（dòng）傳感（gǎn）和（hé）開關（guān）單元(ASU)，提供了0.1 fA (100 attoamps)和0.5微伏的分辨率（lǜ）用以量（liàng）測例如MOSFET Idoff和存儲單元漏電檢定等測量。工程師（shī）可以簡便地（dì）通過ASU所連接到的高分辨率SMU和CMU時，作高（gāo）精（jīng）度IV和補（bǔ）償CV測量之間的切換（huàn）。 安捷倫B1500A半導體器件分析儀現已接受訂（dìng）貨。基（jī）本4-SMU IV測量解（jiě）決方案起價45,000美元，基本CV-IV測量解決方案起（qǐ）價58,000美元（yuán）。以上價格僅供參考。預計該產品將在2005年8月發貨。