俄開發出高效切割微芯片的激光裝置 (2004-09-02)
發布時間:2007-12-04
作者:
來源:新華
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據俄羅斯《科學信息》雜(zá)誌報(bào)道,俄研究(jiū)人員最近(jìn)開發出一種激光裝置,可以簡(jiǎn)單高效地將藍寶石晶體等切割成厚度不到1微米的薄片。研究人員希望使用該(gāi)裝置替代目前使用的鑽石刀來切(qiē)割微芯片。
聖彼得堡研究人員開發出的激光切割裝(zhuāng)置采用的是微微秒級的超(chāo)短波低能激光。切割材料時,激光裝置(zhì)的特殊光學係統(tǒng)將激光聚焦成直徑隻(zhī)有幾微米(mǐ)的激光(guāng)束。利用這種能量聚集在特定空間和時間內的激光(guāng),照射諸如藍寶石等材料,可以直接在材料內部打出一些緊密相鄰的細小孔眼(yǎn)。這樣被“鑽”空的藍寶石材料可以很容易“掰開”,獲得理想的微芯片(piàn)。
使用新方法進行的整個(gè)切割過程都在電腦控製下自動進行,快速而精確。而且由於激光在藍寶石內部打出的孔眼極其細小,因此基本不會造成原(yuán)始芯片材料的浪費。目前切割微芯(xīn)片使用的(de)是鑽石刀,由於刀片本身具有(yǒu)一定厚度,導致藍寶石或(huò)石英等原始材(cái)料(liào)被浪費掉許多,整個材(cái)料的有效利用率隻有四分之一到三分之一。
科學家還介紹說,鑽石刀切割必須在純淨的空氣條件下進行,而新方法可以在普通空氣條件下進行,而且可以帶著包裝一起切割(gē),新方法開辟了一種微芯片(piàn)加工的新思路。