據澳大利亞莫納什大學網站報道,澳(ào)大(dà)利亞研究人員正在研製(zhì)世界最強大的納米設(shè)備之一??電子束曝光係統(EBL)。該係統(tǒng)可標記納米級的物體,還可在比人發直徑小1萬倍的粒子上(shàng)進行書寫或者蝕刻。
電子束(shù)曝光(guāng)技術可直接刻畫精細的圖案,是實驗室(shì)製作微小納米電子元件的最佳選擇。這(zhè)款耗資數百萬美元的曝光(guāng)係統將在(zài)澳大利亞亮相,並有能力以很高的速度和定位精度製出(chū)超高分辨(biàn)率的納米圖形(xíng)。該係統將被放置在(zài)即(jí)將完工(gōng)的墨爾本納米製造中心(MCN)內,並將於明年3月(yuè)正式揭幕。
MCN的臨時負責(zé)人阿(ā)彼得?凱恩博士表示,該設備將幫助科(kē)學家(jiā)和工程(chéng)師發展(zhǎn)下一代微技術,在麵積小(xiǎo)於10納米的物體表麵上實現文字和符號(hào)的書寫和蝕刻。此外,這種強大的技(jì)術正越來越多地應用於鈔票詐騙防偽、微流體設備製造和X射線光學元件的研製中,還可以支持澳大利亞同步加速器的(de)工(gōng)作。
凱恩說:“這(zhè)對澳大利亞科學家研製最(zuì)新的納米儀器十分(fèn)重(chóng)要,其具有無限的潛力,目前已被(bèi)用於油漆、汽車和門窗的淨化處理,甚至對泳衣(yī)也能進行改進。而MCN與澳大利亞同(tóng)步加速(sù)器(qì)相鄰,也能吸引更(gèng)多的國際研究團隊的目光。”
MCN的(de)目標是成為(wéi)澳(ào)大利亞開放的、多範圍的、多學科的微納(nà)米製造中心(xīn)。該中心將支持環境傳感器、醫療診斷設備、微型納米製動器的研製(zhì),以及新(xīn)型(xíng)能(néng)源和生物等領域的研究和模型繪(huì)製。除電子束曝光係統外,MCN中還包含了高分辨率雙束型聚(jù)焦離子束(shù)顯微鏡、光學和納米壓印光刻儀、深反(fǎn)應離子蝕刻儀和共聚焦顯微鏡等眾多設(shè)備。
凱恩認為:能夠介(jiè)入這種技術使我們的科學家十分興奮(fèn),它可以確(què)保我們在未來十年內在工程(chéng)技術前沿領域的眾多方麵(miàn)保持領先地位,也將成為科(kē)學家在納米範圍內取得更大成就的重要基點。
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更多>2018-10-12