Micro-Metric公司開發的Innova光學測量係統可用於半導體、光（guāng）電器件和微機電係統（tǒng）（MEMS）裝置等微（wēi）小尺寸的點到點（diǎn）（PTP）和視場（FOV）非接觸式測量（liàng）。視（shì）場測量的最小（xiǎo）尺寸為0.5μm，測量精度可（kě）達（dá）0.010μm（10nm）；除可手動進行單點測量外（wài），還可通過編程進行全自動逐點順序測量（liàng）。儀（yí）器采用（yòng）了移動行程為（200×200）mm（X，Y）的高精密工作（zuò）台和能進行（háng）精（jīng）密深度測量（liàng）的共焦（jiāo）顯微（wēi）鏡，並（bìng）可對亮度轉換進行亞象素級插補，從而可實現亞微米線寬的測量（liàng）。通過分析被（bèi）測物體的邊緣銳度，顯微（wēi）鏡可在最佳（jiā）焦點處實現自動聚（jù）焦（jiāo）定位。