日本（běn）科學技術振興機構日前以“掃描探（tàn）針顯微（wēi）鏡－－觀察活動的納米世界”為題在東京召開了一場研討會，就該機構推進的“尖端測量分（fèn）析技（jì）術?儀器開發業（yè）務”，介紹了掃描探針顯微鏡的課題和開發狀況。目（mù）前對掃描探針顯微鏡的要求正在由單純的“觀察”工具，向可以測定尺寸、介電常數、原子力等物理特性的（de）工具轉（zhuǎn）變。用於（yú）物理特性測定的新型顯（xiǎn）微鏡在此次研討會上受到了與會者的關注。 受到人們關注的一個產品是測定鐵電體極化（huà）分布的（de）掃描非線性介電顯微鏡（jìng）（SNDM：scanning nonlinear dielectric microscopy）。設想用於（yú）閃存電荷分布（bù）測定和high-k膜介電常數分布等用途。該機構與富士通共同對MONOS型閃存進（jìn）行了解析（xī），驗（yàn）證了ONO膜（SiO2,Si3N4,SiO2層疊膜）中電子和空穴的位置。不過，在測定時需要對字線等進行機械研磨，將ONO膜裸露出（chū）來。此項（xiàng）研究由東北大學電氣通信研究所（suǒ）教授長康雄等人負責。使用半導體試料時，實現了原子級分辨率，80nm工藝閃存（cún）也可觀察電荷分布。 另一個產品是FM-AFM（頻率調製（zhì）式原子力顯微鏡）。島津製作（zuò）所分（fèn）析測量業（yè）務部產品經理（lǐ）粉川良平在演講（jiǎng）中表示，不僅可（kě）以用（yòng）於檢測表麵結構（gòu），還有（yǒu）望（wàng）用於物理特性（xìng）分（fèn）析。比如，利用（yòng）分析特定原子（zǐ）原（yuán）子力的“focus spectrum法”，如（rú）能檢（jiǎn）測（cè）出各原（yuán）子（zǐ）固有的結合力和結合半徑，就能識別局部元素。另外，如（rú）能利用表麵電位測量法（開爾文（wén）法）觀（guān）察電子狀態，就能了（le）解各原子化學反應的過程（chéng），因此（cǐ）有望在觸媒（méi）設計等方麵發揮（huī）作用。其課題是難以在潛在需求（qiú）較高的大氣和液體環境中進行測定。在真空環境中，Q值高達1萬，而在大氣環境下Q值隻有數百（bǎi），在液體環境（jìng）中更是隻有1～10。為了能夠在（zài）大氣（qì）和液體環境中實現原子級分辨（biàn）率，今後準備致力於探針（zhēn）變（biàn）位檢測係統（tǒng）的低噪音（yīn）和頻率解調器的高靈敏度（dù）研究。