岩崎電氣開發出鑽石紫外線監測儀 (2005-08-08)
發布時間:2007-12-04
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岩(yán)崎電氣日前開發出一款可(kě)直接檢測低壓水銀燈(發光波長為185nm)紫外線照度和光量的檢測儀??“185nm型鑽石紫外線監測儀”,將於2005年9月底上(shàng)市。受光元件使用光電導型鑽石傳感器芯片。其特點(diǎn)是具有很高的耐(nài)紫外線及耐熱(rè)性(xìng)。低壓水銀燈一(yī)般用於膠片(piàn)與樹脂的表麵改質、臭氧洗淨、半導體幹式洗淨等工藝。
除上述傳感器外,還采用了(le)藍寶石窗,因此即使接觸到強烈的紫外線,其靈敏度也不會下降。這種藍寶石窗還具有(yǒu)防(fáng)止元件受汙、受(shòu)潮的作用。傳感器具有遮陽板特性,隻能檢測140~227nm的紫外線,因此不需濾波器。
由於耐熱性高,靈(líng)敏度不會下降,因此能夠連續進行測定。可利(lì)用紫外線照射光(guāng)源的不間斷監測儀,監視水銀燈不亮、或功率不足等異常(cháng)情況的發生。由(yóu)於能(néng)夠管理(lǐ)紫外線照射量,因此還能預測出水銀(yín)燈的更換時間。