日本山武日前推出了可（kě）安裝在電（diàn）子元件封裝設備等前麵（miàn）板上的氣體（tǐ）流量控製器“MPC”。能夠控製空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳的氣體流量。尺寸為48×48×73.7mm，重量300g，全球最小、最輕。結合著小型輕量設計，開發出了電磁閥，能夠自動進行（háng）流量控製。可控製的（de）流（liú）量共有4種，按氮氣（1個大氣壓20℃）換算分別為0.5、2.0、5.0和20.0L/分鍾。采（cǎi）用開放式價格，2005年度力爭實現1億（yì）日元（約合人民幣769萬元）、2007年度爭取（qǔ）實現10億日元（約合人民幣（bì）7690萬元）的（de）銷售（shòu）額。 　　過去，不同的氣體必須采用專用控製器。而MPC則可以（yǐ）切換使用4種氣體。流量最（zuì）多可登記4種，最高（gāo）能夠進行8位乘積運算。當流量超過設定值時，就會通過（guò）警報器進行報警。 　　配備了該公司開發的微處理器。將測定流量所需的傳感器和（hé）加熱器類元件進行（háng）了一體（tǐ）設計，傳感器本身能夠直接測量氣體流量。響應性（xìng）為1ms，測量範圍為300:1。利用這種傳感器，可在不受壓力與溫度變化影響的情況下（xià），以±2％FS的精度進行測量（liàng）。最快隻需1s即可按（àn）照設定值（zhí）進行控製。 　　由於將管線連接部分和配線部分集中到了機身（shēn）背（bèi）麵，因此便於在設備上進行安裝（zhuāng）。可使用麵板前麵的按鍵進（jìn）行設定。除此之外，作為用戶選配（pèi）項還可配備模擬（nǐ）輸入輸出功（gōng）能及RS-485通信（xìn）功能，並能使用這些功能進行設定。假如使用另賣的軟件，既能（néng）對設定值進行管理，還能收集控製流量值的趨勢數據（jù）。