2月（yuè）17日，美國熱電集團最新推出了一款專用於半導體晶片分析（xī）的傅立葉變換紅外光譜係統??Nicolet ECO/RS，該係統采用了熱電集團最新的傅立葉變換（huàn）紅外光譜平台??Nicolet 6700。 眾（zhòng）所周知，傅立葉變換（huàn）紅外光譜（pǔ）技術對於半導體加工而言，是一種理想的（de）檢測手段。而半（bàn）導體加工無論（lùn）是對於原材料還是工藝過程都有著嚴格的控製要求，需要能夠對於純度超（chāo）過99.999%的材料進行檢測，並且檢測尺度主（zhǔ）要是在納米級。而作為一種快速、無損（sǔn）的檢測技術，傅立葉變（biàn）換（huàn）紅外光（guāng）譜儀既可用於相（xiàng）關企（qǐ）業的質檢實驗室，也可用（yòng）於現場以監控生產過程中攙雜劑在矽片中的均一（yī）性。由於矽有非常（cháng）好的紅外透過性，因此傅（fù）立葉變換紅外（wài）技術在此（cǐ）方麵的應用包括：針對外延生長的晶體薄膜、微機電（diàn）係統（tǒng）（MEMS）設備和絕緣矽（SOI）材料的厚度測量，矽晶體（tǐ）中間隙氧和取代碳含量的測定以及介（jiè）電薄（báo）膜表征等。 此外，該型產品采用了（le）熱電集團新一代 ETC EverGlo 紅外源，在提供（gòng）穩定信號的同時（shí），極（jí）大延長了紅外源的使（shǐ）用壽命。為了應付以前難以處（chù）理的紅外樣品，還新增加了一個 Turbo Mode 功能。敷金的（de）光學器件和全（quán）新設計的光（guāng）路係統則極大增強了光信號通量。