衝電氣工業日前上市了采用MEMS技術生產的3軸加速度傳感器（qì）模塊“ML8950”(發表資料(日文))。在外（wài）形尺寸為5.0mm×5.0mm×1.4mm的（de）封裝內封裝有傳感器元件和控製IC。與競爭對手最薄（báo）的產（chǎn）品（pǐn）相比，厚度還（hái）要小0.1mm。這是該公司首次（cì）投產基於（yú）MEMS技術的加速度傳感器。主要麵向便攜終端、娛樂設備及安全係統等。 ML8950的特點是通過數字信號輸出檢測結果。這是在控製IC中集成10位A-D轉換電（diàn）路實現的。這樣便可省掉原來安裝在外部的（de）A-D轉換IC。此外，在控製（zhì）IC中還（hái）集（jí）成了信號放大電路和溫（wēn）度補償電路等。 　　利用壓電（diàn）電阻效（xiào）應（yīng）檢測加速度、傾斜及衝擊等。通過利用SOI(絕緣體上矽)晶圓（yuán）的MEMS技術進行生產，提高了傳感器元件的（de）耐衝（chōng）擊性、實現了（le）芯片的小型化和薄（báo）型化。額定加速度為±3G，耐（nài）衝擊（jī）性為4000G，驅動電壓為+2.5V～+3.3V。 　　衝電氣工業將在“CEATEC JAPAN 2004”(會期2004年10月5日～10月9日)上展出此次開（kāi）發的產品（pǐn）。將於2004年10月開始提供工業樣（yàng）品、2005年4月開始（shǐ）量產供貨。工業樣品的價格（gé）為5000日（rì）元(約合人民幣385元)。 　　衝電氣工業從1999年便開始接受基於矽微細加工技術的MEMS生產委托業務。今後，該公司（sī）的目標是開發高（gāo）功能MEMS傳感（gǎn）器，2006年實（shí）現銷售額100億日元(約合人民（mín）幣7.7億)。